Silicon Carbide Cantilevers Paddle
Chi tiết sản phẩm và ứng dụng
Lực tải wafer lớn Cánh khuấy / dầm công xôn SiSiC / SiC thích hợp cho hệ thống xếp dỡ tự động bằng rô bốt vì nó có hiệu suất ổn định, không biến dạng ở nhiệt độ cao và lực tải wafer lớn. Do phần của cánh khuấy công xôn ổn định và không bị biến dạng, nên có thể chế tạo bánh wafer kích thước lớn hơn bằng cách sử dụng các ống lò hiện có. Lực tải wafer lớn silic cacbua cánh khuấy / dầm công xôn SiSiC / SiC có thể được áp dụng cho LPVCD trên cơ sở hệ số giãn nở nhiệt tương tự của nó với lớp phủ LPVCD, giúp kéo dài đáng kể chu kỳ bảo dưỡng và làm sạch, đồng thời giảm đáng kể chất ô nhiễm.
Các thông số kỹ thuật của phản ứng silicon cacbua RBSIC:
| mục | đơn vị | dữ liệu |
| Nhiệt độ của ứng dụng | ℃ | 1380 |
| tỉ trọng | G / cm3 | > = 3.02 |
| Độ xốp mở | % | <0,1 |
| Thang đo độ cứng của Moh | 13 | |
| Lực bẻ cong | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Mô đun đàn hồi | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Dẫn nhiệt | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Hệ số giãn nở nhiệt | K-1 * 10-6 | 4,5 |
| Kiềm chống axit | Thông minh |
Đặc trưng:
a. Nó không bị biến dạng ở nhiệt độ cao và lực tải wafer lớn;
b. Khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời và tuổi thọ lâu dài;
c. Hệ số giãn nở nhiệt của cánh khuấy công xôn cực nhỏ, giúp kéo dài đáng kể chu kỳ bảo dưỡng và làm sạch;
và giảm đáng kể các chất ô nhiễm
Đồ nội thất lò nung khác được làm bằng gốm cacbua silic
Bên cạnh cánh khuấy công xôn SiSiC nung kết phản ứng để tải wafer, chúng tôi còn sản xuất các đồ nội thất lò nung khác bao gồm chùm cacbua silicon RBSIC / SISIC, ống vòi phun, ống vòi xoắn ốc, ống vòi xoáy, que đánh bóng / tấm setter silicon SIC liên kết oxit và ống làm mát RBSIC .
Sản phẩm cacbua silicon RBSIC / SISIC chống mài mòn
Bởi vì sản phẩm silicon cacbua RBSIC / SISIC của chúng tôi có ưu điểm là chống mài mòn tuyệt vời, chống ăn mòn và tuổi thọ cao, nó cũng có thể được chế tạo thành lớp lót chống mài mòn có thể dễ dàng lắp đặt trong các đường ống xử lý hoặc lốc xoáy.
